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Fabrication de circuits microfluidiques PDMS

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La fabrication des circuits microfluidiques en PDMS est une part importante de l’activité de microFab , car la demande interne au LIPhy est forte. Cette partie du travail est assurée par Danièle CENTANNI, qui gère le fonctionnement de la salle blanche située en salle 132 du laboratoire. Elle prend en charge toute la chaine de fabrication de ces micro-dispositifs, après définition avec le demandeur. Les principales étapes de fabrication d’une empreinte sont :

- mise en forme du masque représentant le circuit
- dépôt de la résine photosensible sur plaque de silicium 3"
- exposition UV et révélation de l’empreinte du circuit

Cette étape peut être réalisée de deux façons: exposition à travers un masque, ou écriture directe par laser, grâce à un appareil acheté en 2019 (Dilase par Kloé)

et si le demandeur souhaite un produit fini...
- moulage du PDMS sur cette empreinte
- collage sur lame de verre
- mise en place de la connectique fluidique

Ci-dessous un exemple de moule en SU8 avant moulage par la résine PDMS (épaisseur de SU8 de 140microns)